Поиск в базе сайта:
Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем icon

Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем




Скачать 31.09 Kb.
НазваниеФизика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем
С.П. Зимин
Дата конвертации04.06.2013
Вес31.09 Kb.
КатегорияТексты

Наименование дисциплины: Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем

Направление подготовки: 210100 Электроника и наноэлектроника

Профильная направленность: Интегральная электроника и наноэлектроника

Квалификация (степень) выпускника: магистр

Форма обучения: очная

Автор: д-р физ.-мат.наук, профессор, профессор кафедры микроэлектроники С.П. Зимин


1. Целями освоения дисциплины Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем являются:

  • изучение физических процессов роста тонких пленок;

  • изучение механических, электрических и оптических свойств тонких пленок и низкоразмерных 2D систем;

  • формирование навыков экспериментальных исследований и изучение техники измерений характеристик и параметров тонких пленок.



2. Дисциплина Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D-систем относится к вариативной части общенаучного цикла М1.В. Является дисциплиной по выбору студента. Изучается во 2 семестре. Требует для изучения знаний следующих дисциплин бакалавриата и магистратуры: общий курс физики (раздел «Электричество»), «Материалы электронной техники», «Физика конденсированного состояния», «Основы технологии электронной компонентной базы», «Физика диэлектриков». Дисциплина Физика тонких пленок и низкоразмерных 2D систем является основой для изучения последующих курсов ООП магистратуры, таких как «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», дисциплин по выбору вариативной части профессионального цикла.


3. В результате освоения дисциплины обучающийся должен:


Знать:

  • основные понятия, связанные с формированием тонких пленок на различных подложках;

  • основные методы выращивания тонких пленок;

  • специфические свойства тонкопленочных структур.

Уметь:

  • применять полученные знания для анализа параметров и характеристик пассивных пленочных элементов;

  • использовать физические законы для предсказания работы пленочных приборов в разных условиях;

  • оперировать физическими и технологическими терминами и величинами;

  • решать задачи по анализу классических и квантовых размерных эффектов.

Владеть:

  • информацией об областях применения и перспективах развития пленочной электроники;

  • практическими приемами при работе с пленочными элементами твердотельной электроники;

  • методами измерения основных параметров пленочных материалов, исследования свойств пленочных электронных структур;

  • навыками самостоятельной работы на установках контроля физических параметров пленок.

4. Общая трудоемкость дисциплины составляет 3 зачетные единицы, 108 часов.


5. Содержание дисциплины:


п/п

Раздел дисциплины

1

Процессы зародышеобразования и роста тонких пленок

2

Свойства островковых металлических пленок

3

Механические свойства тонких пленок

4

Электрические свойства тонких пленок

5

Размерные эффекты в тонких пленках

6

Полупроводниковые сверхрешетки (СР)

7

Квантовый эффект Холла

8

Измерение параметров проводящих, полупроводниковых, резистивных и диэлектрических пленок



6. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:

а) основная литература:

  1. Бочкарева Л.В., Зимин С.П. Явления переноса в полупроводниковых пленках. Уч. пособие, ЯрГУ, 1985.

  2. Зимин С.П. Измерение параметров пленочных структур. МУ, ЯрГУ, 2004.

б) дополнительная литература:

  1. Технология тонких пленок. Под ред. Майсела Л., Глэнга Р., Сов. радио, 1977, Т.1, Т.2.

  2. Кравченко А.Ф., Митин В.В., Скок Э.М. Явления переноса полупроводниковых пленках. Новосибирск, Наука, 1979.

  3. Квантовый эффект Холла. Под ред. Пренджа Р., Гирвина С. М., Мир, 1989.

  4. Херман Р. Полупроводниковые сверхрешетки. М., Мир, 1989.

в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:

Электронная библиотека ЯрГУ


Похожие:




©fs.nashaucheba.ru НашаУчеба.РУ
При копировании материала укажите ссылку.
свазаться с администрацией