Поиск в базе сайта:
Кафедра вэпт стадии осаждения покрытий в процессе pacvd icon

Кафедра вэпт стадии осаждения покрытий в процессе pacvd




НазваниеКафедра вэпт стадии осаждения покрытий в процессе pacvd
Дата конвертации24.03.2013
Вес445 b.
КатегорияТексты


Кафедра ВЭПТ




Стадии осаждения покрытий в процессе PACVD:

  • Стадии осаждения покрытий в процессе PACVD:

  • 1) получение плазмы,

  • 2) химические диссоциация и разложение в результате столкновений с электронами,

  • 3) транспортная реакция,

  • 4) формирование покрытия на подложке.



Таблица 1. Требования, предъявляемые к процессам PACVD.



Таблица 2. Физико-химические свойства веществ, применяемых при PACVD.



Конструкции плазмохимических реакторов.



Принципиальная схема установки для плазмохимического осаждения пленок из газовой фазы в планарном реакторе (ВЧ-разряд)



Принципиальная схема установки для плазмохимического осаждения пленок из газовой фазы при активации процесса СВЧ энергией.



Нанесение покрытий с использованием тлеющего разряда



Нанесение покрытий с использованием разряда с полым катодом



Нанесение покрытий с использованием ВЧ разряда с полым катодом





















































Похожие:




©fs.nashaucheba.ru НашаУчеба.РУ
При копировании материала укажите ссылку.
свазаться с администрацией