Поиск в базе сайта:
Рабочая программа учебной дисциплины Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество ф тпу 1-21/01 утверждаю проректор директор фти icon

Рабочая программа учебной дисциплины Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество ф тпу 1-21/01 утверждаю проректор директор фти




Скачать 223.66 Kb.
НазваниеРабочая программа учебной дисциплины Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество ф тпу 1-21/01 утверждаю проректор директор фти
Дата конвертации16.02.2013
Вес223.66 Kb.
КатегорияРабочая программа

Рабочая программа учебной дисциплины

Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество



Ф ТПУ 7.1-21/01





УТВЕРЖДАЮ

Проректор - директор ФТИ

_____________ Кривобоков В.П.

«____»______________ 2011 г.


Рабочая программа дисциплины

Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество


Направление ООП: подготовка магистров

Профиль подготовки: 011200 «Физика»

Квалификация (степень): магистр

Базовый учебный план приема: 2011 г.

Курс: I, семестр: II

Количество кредитов: 4

Пререквизиты: высшая математика, общая физика

Кореквизиты: физика твердого тела, методы анализа структуры и элементного состава твердого тела


Виды учебной деятельности и временной ресурс

Лекционные занятия: 18 час.

Лабораторные занятия:

Практические занятия: 36 час.

Самостоятельная работа: 126 час.

Итого: 180 час.


Форма обучения: очная

Вид промежуточной аттестации: экзамен

Обеспечивающее подразделение: кафедра ВЭПТ ФТИ

Заведующий кафедрой ВЭПТ Кривобоков В.П.

Руководитель ООП ________________ Ливенцов С.Н.

Преподаватель _________________ Блейхер Г.А.

2011 г.

^ 1. Цели освоения дисциплины

1. Получение фундаментальных теоретических знаний в области воздействия плазмы и пучков заряженных частиц на вещество, диссипации энергии высокоэнергетических частиц в облучаемом веществе, эрозии облучаемой поверхности, массопереноса, стимулированного облучением, образованием радиационных дефектов и развитием дефектной структуры.

2. Формирование навыков использования полученных знаний для прогнозирования результатов облучения вещества потоками заряженных частиц, нейтров и электромагнитного излучения.

3. Научиться ставить задачи и проводить оценочные расчеты, связанные с результатами прохождения ускоренных заряженных частиц и электромагнитного излучения через вещество.


^ 2. Место дисциплины в структуре ООП

Дисциплина «Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество» относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин основной образовательной программы подготовки магистров по направлению «Физика».

Для освоения данной дисциплины необходимо иметь степень бакалавра физики, владеть знаниями в области механики, термодинамики, молекулярной физики, электричества, магнетизма и волн, базовых разделов высшей математики, теории вероятностей и математической статистики, методов математической физики, владеть инструментами информатики и компьютерной математики,

Пререквизиты: дисциплина предназначена для студентов, прослушавших курсы общей физики, математики, информатики, элементов компьютерной математики, атомной и ядерной физики.

Кореквизиты: параллельно с данной дисциплиной могут изучаться курсы теоретической физики, физики твердого тела, методы анализа структуры и элементного состава конденсированного вещества.


^ 3. Результаты освоения дисциплины

В результате освоения дисциплины студент должен:

знать принципы теоретического описания взаимодействия быстрых заряженных частиц, потоков плазмы, электромагнитного излучения, нейтронов с веществом, диссипации энергии пучков заряженных частиц и плазмы в облучаемом веществе, массопереноса, генерации радиационных дефектов, стимулированных облучением;

уметь самостоятельно использовать различные теоретические закономерности и формулы для прогнозирования результатов воздействия на вещество пучков заряженных частиц, потоков плазмы и электромагнитного излучения;

владеть методиками расчета углового распределения и потерь энергии потоков быстрых заряженных частиц и электромагнитного излучения при их взаимодействии с атомами вещества, способами решения задач тепло- и массопереноса, эрозии поверхности в условиях облучения твердого тела потоками высокоэнергетических частиц.

В процессе освоения дисциплины у студентов развиваются следующие компетенции:

Профессиональные:

1. Способность проявлять глубокие профессиональные знания в области в области воздействия плазмы, пучков заряженных частиц и электромагнитного излучения на вещество.

2. Готовность к постановке задач, касающихся прогнозирования результатов воздействия на вещество пучков заряженных частиц, потоков плазмы и электромагнитного излучения, и их самостоятельному решению.

3. Способность к расчету основополагающих характеристик прохождения потоков заряженных частиц и электромагнитного излучения через вещество, задач, связанных с диссипацией их энергии в облучаемом веществе.

Универсальные (общекультурные):

1. Готовность эффективно работать в качестве члена команды и самостоятельно по междисциплинарным тематикам.

2. Понимать необходимость самостоятельного обучения и повышения квалификации в течение всего периода профессиональной деятельности.


^ 4. Структура и содержание дисциплины


Содержание теоретического раздела дисциплины


1. Классификация способов обработки материалов потоками заряженных частиц. Процессы, происходящие в твердом теле под действием ускоренных электронов и ионов (2 часа лекция).

Классификация способов обработки материалов потоками заряженных частиц. Общие черты и особенности воздействия на вещество различных видов потоков заряженных частиц. Структура, цели и задачи настоящего курса.

Обзор процессов, происходящих в твердом теле при его бомбардировке ускоренными электронами и ионами.


  1. Основы теории переноса излучения в веществе. (2 часа практ. занятие).

    1. Сечения взаимодействия частиц. Прицельный параметр.

    2. Угловые распределения рассеянных частиц.

    3. Формула Резерфорда для упругого рассеяния заряженных частиц.

    4. Сечения рассеяния и поглощения энергии.

    5. Тормозная способность вещества.

    6. Закон ослабления нерассеянного излучения.

    7. Полный пробег ускоренной частицы в веществе.

    8. Основные понятия и определения в теории переноса излучения в веществе (фазовое пространство, дифференциальная плотность потока частиц, интеграл столкновений, энергетический спектр излучения, интенсивность излучения и др.).

    9. Кинетическое уравнение, его физический смысл и структура.

    10. Физические приближения, используемые для упрощения кинетического уравнения.


3. Взаимодействие ускоренных электронов с веществом (6 часов: 2 часа лекция и 4 часа практическое занятие)

3.1. Торможение ускоренных электронов в веществе в результате неупругих электрон-электронных взаимодействий. Сечения неупругих столкновений ускоренных электронов. Потери энергии на ионизацию и возбуждение. Уравнение Бете. Формула Бете-Блоха. Траекторный пробег электрона.

    1. Угловое рассеяние электронов (формула Резерфорда; первое приближение Борна; однократное рассеяние; многократное рассеяние; угловое распределение электронов, прошедших некоторый слой поглотителя (распределение Гоудсмита-Саундерсона, распределение Мольер).

    2. Отражение электронов. Коэффициенты пропускания и поглощения, глубина проникновения электронов, разные виды пробегов.

    3. Нахождение пространственного распределения удельных потерь энергии и пробегов (различные способы расчета), расчет потерь энергии в многокомпонентных веществах, формула Брэгга.


4. Тормозное излучение (2 часа практич. занятие).

    1. Тормозное излучение при прохождении ускоренных заряженных частиц в веществе (природа тормозного излучения; дифференциальные сечения тормозного излучения при прохождении электронов через вещество; основные особенности тормозного излучения при прохождении заряженных частиц через вещество).

    2. Потери энергии на тормозное излучение и ионизацию при прохождении ускоренных электронов через вещество; радиационная длина; угловое распределение тормозного излучения.


5. Взаимодействие ускоренных ионов с веществом (8 часов: 4 часа лекции + 4 часа практич. занятие).

    1. Торможение ускоренных ионов при упругих столкновениях (потенциалы взаимодействия; потенциалы и сечения, используемые в аналитических расчетах; ядерная тормозная способность; особенности ядерного торможения).

    2. Торможение ускоренных ионов в неупругих взаимодействиях (электронная тормозная способность; электронное торможение в широком диапазоне энергий ионов, особенности электронного торможения).

    3. Об обобщенной теории Линдхарда торможения атомных частиц. Соотношение ядерных и электронных потерь в широком диапазоне начальных энергий ускоренных ионов.

    4. Пространственное распределение линейных потерь энергии на основе модели Линдхарда-Шарфа-Шиотта. Потери энергии на ядерное и электронное торможение. Полные потери энергии. Расчет проективного пробега и страгглинга бомбардирующих ионов. Построение профиля внедренных ионов.

    5. Каналирование и другие ориентационные эффекты при бомбардировке кристаллических твердых тел ускоренными ионами (виды ориентированного движения частиц в кристаллах; как происходит каналирование; условия каналирования; основные особенности взаимодействия каналируемых ионов с атомами монокристаллов; распределение по глубине внедренных ионов при каналировании; деканалирование).


^ 6. Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом (6 часов: 2 часа лекция.+ 4 часа практич занятия).

    1. Рассеяние электромагнитного излучения в широком диапазоне частот на свободных и связанных электронах; рассеяние электромагнитного излучения на системе зарядов; комптоновское рассеяние.

    2. Прохождение рентгеновских фотонов и гамма-квантов через вещество (сечения взаимодействия, коэффициенты поглощения; ослабление излучения; расчет потерь энергии рентгеновских фотонов и гамма-квантов в веществе).

    3. Взаимодействие лазерного излучения с веществом.




  1. ^ Взаимодействие нейтронов с веществом (2 часа лекция)

Виды взаимодействия нейтронов с веществом; энергетические группы нейтронов; нейтронные сечения; группа медленных нейтронов; резонансные нейтроны; основные виды взаимодействия быстрых и сверхбыстрых нейтронов с веществом).


8. Тепловые и термомеханические процессы в твердом теле, стимулированные воздействием высокоинтенсивных пучков заряженных частиц и потоков плазмы (6 часов: 2 часа лекции + 4 часа практич. занятия).

    1. Понятие диссипации энергии пучков заряженных частиц и потоков плазмы в веществе. Каналы диссипации энергии излучения в веществе. О механизме нагрева вещества. Классификация потоков заряженных частиц для математического описания стимулированных ими тепловых процессов. Функция энерговыделения.

    2. Тепловые процессы в веществе при облучении потоками заряженных частиц и плазмы.

    3. Термомеханические напряжения. Упругие, упругопластические и ударные волны.


9. Эрозия поверхности под действием пучков заряженных частиц и потоков плазмы (6 часов: 2 часа лекция + 4 часа практические занятия).

    1. Распыление: основные определения, механизмы, основные принципы современной теории распыления, наиболее значимые факторы для коэффициента распыления; способы расчета коэффициентов распыления; особенности распыления кристаллов; изменение топографии поверхности в результате распыления; об электронном распылении.

    2. Испарение (механизмы испарения; скрытая теплота испарения; скорость испарения; математическое описание кинетики испарения в зависимости от мощности излучения; особенности перехода вещества в паровую фазу в условиях вакуума). Гидродинамический разлет вещества. Соотношение распылительного и испарительного компонентов эрозии в различных режимах облучения поверхности потоками заряженных частиц.

    3. Другие виды эрозии.


10. Радиационные дефекты в твердом теле (4 часа: 2 часа лекции + 2 часа практич. занятие).

    1. Общие представления о радиационных повреждениях.

    2. Основные типы структурных дефектов.

    3. Стадии радиационной повреждаемости.

    4. Этап генерации дефектов (смещения атомов и первично-выбитые атомы; образование каскадов смещений; каскадная функция; распределение генерации смещенных атомов по глубине).

    5. Вторичные процессы при образовании дефектов (диффузионная стадия и стадия эволюции стоков).

    6. Примеры образования дефектных структур при ионном облучении. Аморфизация.

    7. Отжиг дефектов.

    8. Влияние дефектной структуры на макроскопические свойства материалов.

    9. Особенности дефектообразования под действием других видов излучения.


11. Перенос атомов в конденсированной фазе при воздействии пучков заряженных частиц и потоков плазмы (4 часа: 4 часа практич. занятия).

    1. Диффузия, коэффициенты диффузии, законы диффузии.

    2. Радиационно-стимулированная диффузия.

    3. Баллистическое ионное перемешивание.

    4. Механизмы усиления массопереноса при мощном импульсном воздействии.


12. Особенности воздействия плазмы на вещество (2 часа практич. занятие).


Содержание практического раздела дисциплины (тематика практических занятий)

  1. Основы теории переноса излучения в веществе (2 часа).

  2. Взаимодействие ускоренных электронов с веществом (4 часа).

  3. Тормозное излучение (2 часа).

  4. Взаимодействие ускоренных ионов с веществом (4 часа).

  5. Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом (4 часа).

  6. Тепловые и термомеханические процессы в твердом теле, стимулированные воздействием высокоинтенсивных пучков заряженных частиц и потоков плазмы (4 часа).

  7. Эрозия поверхности под действием пучков заряженных частиц и потоков плазмы (4 часа).

  8. Радиационные дефекты в твердом теле (2 часа).

  9. Перенос атомов в конденсированной фазе при воздействии пучков заряженных частиц и потоков плазмы (4 часа).

  10. Особенности воздействия плазмы на вещество (2 часа).

  11. Контрольная работа (4 часа).


Структура дисциплины по разделам и формам организации обучения

Название раздела/темы

Аудиторная работа (час.)

СРС (час)

Контр. работа

Итого

Лекции

Практич.

занятия

1. Классификация способов обработки материалов потоками заряженных частиц. Процессы, происходящие в твердом теле под действием ускоренных электронов и ионов

2




4

2

6

2. Основы теории переноса излучения в веществе




2

8

10

3. Взаимодействие ускоренных электронов с веществом

2

4

16

22

4. Тормозное излучение




2

10

12

5. Взаимодействие ускоренных ионов с веществом

4

4

20

30

6. Взаимодействие фотонов с веществом

2

4

12




18

7. Взаимодействие нейтронов с веществом

2




4




6

8. Тепловые и термомеханические процессы в твердом теле, стимулированные воздействием высокоинтенсивных пучков заряженных частиц и потоков плазмы

2

4

20

2

27

9. Эрозия поверхности под действием пучков заряженных частиц и потоков плазмы

2

4

16

23

10. Радиационные дефекты в твердом теле

2

2

6




10

11. Перенос атомов в конденсированной фазе при воздействии пучков заряженных частиц и потоков плазмы




4

10




14

12. Особенности воздействия плазмы на вещество




2







2

Итого:

18

32

126

4

180



^ 5. Образовательные технологии

Лекционный материал данного курса сопровождается демонстрацией слайдов, подготовленных в программе для создания презентаций Microsoft PowerPoint.

Используются методы проблемного обучения и опережающая самостоятельная работа.


^ 6. Организация и учебно-вспомогательное обеспечение

самостоятельной работы студентов


Текущая самостоятельная работа студентов включает в себя:

- проработку лекционного материала, в том числе на опережение;

- выполнение домашних заданий;

- подготовку к контрольным работам и экзамену.


Творческая проблемно-ориентированная самостоятельная работа:

- выполнение индивидуальных заданий.


^ Темы, выносимые на самостоятельную проработку

  1. Получение формулы Резерфорда для упругого рассеяния заряженных частиц.

  2. Ионизация атомов среды при облучении ускоренными заряженными частицами.

  3. Отражение заряженных частиц от облучаемой поверхности.

  4. Черенковское излучение. Переходное излучение.

  5. Различные факторы, влияющие на коэффициент ионного распыления.

  6. Особенности распыления кристаллов.

  7. Блистеринг и флекинг.

  8. Примеры образования дефектных структур при ионном облучении.

  9. Механизмы усиления массопереноса при мощном импульсном воздействии.


Оценка результатов самостоятельной работы происходит по результатам выполнения контрольных работ и выполнения индивидуальных заданий.


^ 7. Средства текущей и итоговой оценки качества освоения дисциплины


Оценка текущей успеваемости происходит по результатам выполнения контрольных работ и индивидуальных заданий.


Контрольная работа №1

  1. Понятие прицельного параметра. Связь между величиной прицельного параметра и типом взаимодействия заряженных частиц с веществом. Какие силы определяют рассеяние и торможение ускоренных электронов при их прохождении через вещество?

  2. Формула Резерфорда: ее физический смысл, в каком приближении и при каких допущениях она получена? Область ее корректного использования.

  3. Что такое дельта-электроны и тормозные фотоны? Сопоставить вероятность образования дельта-электронов с большой энергией и испускания фотонов с такой же энергией и пояснить результат сопоставления.

  4. В каких случаях следует учитывать экранирующее действие атомных электронов при рассмотрении торможения и рассеяния ускоренных электронов в веществе? как сказывается этот учет на виде дифференциальных сечений взаимодействия?

  5. Дифференциальное сечение ускоренных электронов, полученное в первом приближении Борна и при использовании кулоновского потенциала: физический смысл формулы, основные требования к параметрам взаимодействующих частиц.

  6. Полное числовое альбедо для пучка ускоренных электронов. Его физический смысл и зависимость от начальной энергии электронов и атомного номера вещества мишени.

  7. Ионизационные и радиационные потери энергии ускоренных электронов в веществе. какими процессами они вызываются? Их зависимость от начальной энергии ускоренных электронов. Какими соотношениями описываются линейные потери энергии?

  8. Сечения рассеяния электронов с учетом угла экранирования (физический смысл формул, описывающих эти сечения, и всех входящих в них параметров, графическое представление в зависимости от угла рассеяния).

  9. Спектр фотонов тормозного излучения. Его зависимость от начальной энергии ускоренных электронов.

  10. В каких процессах ускоренные электроны при прохождении в веществе теряют свою энергию? Изменяют направление своего движения? Физический смысл дифференциальных сечений передачи энергии на ионизацию и возбуждение атомов. Как зависит вероятность ионизационных процессов при прохождении ускоренных электронов в веществе от энергии ускоренных электронов?

  11. Что описывает сечение Мотта? Для каких случаев оно разработано? Его связь с сечением Резерфорда.

  12. Угловое распределение тормозного излучения. Прокомментировать изменение вида диаграммы направленности испускаемых фотонов с изменение начальной энергии ускоренных электронов.

  13. Формула Бёте-Блоха: ее назначение, физический смысл, структура, область применимости. Как выглядит графически описываемая ею зависимость от начальной энергии электронов?

  14. Понятие среднего угла рассеяния и результирующего отклонения при прохождении электронами некоторого слоя вещества. От чего они зависят и как?

  15. Как рассчитать полный траекторный пробег электрона в веществе с достаточно большой энергией? Какие формулы следует использовать, чтобы получить конечный результат?

  16. Полная тормозная способность вещества при прохождении через него ускоренных электронов. Ее зависимость от начальной энергии ускоренного электрона.

  17. Опишите картину рассеяния при попадании ускоренного электрона в вещество (как изменяется средний угол рассеяния и направление движения ускоренного электрона по мере его продвижения в веществе?)

  18. Физический смысл дифференциальных сечений испускания тормозных фотонов. Область применения этих сечений. Зависимость этих сечений от энергии испущенных фотонов.

  19. Понятие многократного рассеяния ускоренных электронов в веществе, стадии многократного рассеяния. Что представляют собой распределения Мольер и Гоудсмита-Саундерсона? Их физический смысл, достоинства и недостатки.

  20. Природа и основные свойства тормозного излучения. Объясните отличия в передаче веществу энергии ускоренного электрона в ионизационных и радиационных процессах.

  21. Тормозная способность вещества при прохождении через него ускоренных ионов (определение, какими процессами определяется, соотношение вкладов разных процессов в величину суммарной тормозной способности в зависимости от энергии бомбардирующих ионов).

  22. Что такое фокусоны и краудионы? Механизм их образования. При каких энергиях движущихся частиц они существуют?

  23. Зависимость электронной тормозной способности вещества от скорости бомбардирующих ионов. Методика расчета электронной тормозной способности в различных диапазонах скорости ионов.

  24. Расчет полного пробега иона в веществе через тормозные способности. Чему равен полный пробег ускоренных ионов в режиме каналирования?

  25. Потенциалы взаимодействия двух атомов; использование различных потенциалов взаимодействия в зависимости от прицельного параметра.

  26. Особенности взаимодействия каналонов с атомами монокристаллов.

  27. Порядок расчета линейных потерь энергии ускоренных ионов на заданной глубине мишени.

  28. Движение пучка ускоренных ионов в монокристалле.

29.Электронная тормозная способность вещества (определение, способы расчета, особенности электронного торможения ускоренных ионов в веществе).

  1. Условия каналирования.

  2. Модели неупругого торможения ионов относительно невысоких энергий в веществе (их сущность, достоинства и недостатки).

  3. Факторы, влияющие на процесс каналирования. Деканалирование.

  4. Суть метода построения функции P(R,E0) – вероятности того, что ион с начальной энергией E0 будет иметь в данном веществе пробег R.

  5. Ядерная тормозная способность (определение, как может быть рассчитана). Особенности ядерного торможения ускоренных ионов в веществе

  6. Обобщенная теория Линхарда для нахождения тормозной способности вещества при прохождении в нем ускоренных ионов.

  7. Виды пробегов ускоренных ионов в веществе.

  8. Методика расчета пробегов с использованием приведенных параметров.

  9. Пространственное распределение линейных потерь энергии ускоренных ионов в веществе: схема расчета, вид функции линейных потерь энергии тормозящегося иона по глубине мишени, соотношение потерь энергии иона на упругие и неупругие взаимодействия с частицами вещества.


Контрольная работа №2

  1. Понятие диссипации энергии пучков заряженных частиц и потоков плазмы в веществе. Каналы диссипации энергии.

  2. Уравнения состояния твердого тела: их назначение, структура.

  3. Механизм передачи тепловой энергии атомам облучаемого вещества.

  4. Функция энерговыделения. Влияние коллективных эффектов на энерговыделение.

  5. Уравнение термоупругости: его вид, структура; как оно выводится; в каком диапазоне нагрузок оно «работает»?

  6. Способы передачи тепловой энергии в конденсированном веществе.

  7. Причины образования термомеханических напряжений (динамического и статического характера) в твердом теле при воздействии пучков заряженных частиц и потоков плазмы.

  8. Коэффициент теплопроводности, механизмы теплопроводности в разных веществах.

  9. Ударные волны: их физическое и математическое представление. Какие возмущения в твердом теле можно назвать ударными волнами?

  10. Первый закон термодинамики. Получение их него дифференциального уравнения теплопроводности.

  11. Связь между упругими деформациями (смещениями) и напряжениями, между давлением и напряжениями для изотропных твердых тел.

  12. Уравнение теплопроводности в общем виде и с постоянными коэффициентами.

  13. «Холодные» составляющие давления и внутренней энергии конденсированного вещества: их природа, зависимость от плотности вещества, связь между ними.

  14. Математическая постановка задачи нагрева твердого тела пучками заряженных частиц и потоками плазмы.

  15. Система уравнений сплошной среды: какие уравнения входят в эту систему; их структура; учет энерговыделения излучения и теплопроводности.

  16. Классификация распыления. Природа столкновительного распыления. Коэффициент распыления.

  17. Записать математическую постановку задачи в одномерном варианте для расчета количества испарившегося вещества в условиях Ленгмюровского испарения.

  18. Рассчитать скорость испарения вольфрама при условной температуре испарения.

  19. Режимы столкновительного распыления. Характерные для каждого из режимов параметры ионной бомбардировки.

  20. Кипение. Условие наступления кипения.

  21. Рассчитать коэффициент распыления мишени из серебра пучком ионов аргона с энергией ионов 50 кэВ.

  22. Коэффициент распыления, скорость распыления, в том числе и для многокомпонентных материалов. Выражения для расчета коэффициентов распыления, полученные Зигмундом; область их корректного применения.

  23. Проанализировать изменение механизмов перехода вещества в паровую фазу с увеличением мощности падающего на него потока заряженных частиц.

  24. Зависимость коэффициентов распыления от а) атомного номера ионов и мишени; б) начальной энергии бомбардирующих ионов; в) угла падения пучка ионов.

  25. Давление насыщенного пара Pнас. Как оно зависит от температуры вещества Т? Почему важно знать поведение Pнас(T) при разработке технологий вакуумного конденсационного осаждения пленок?

  26. Рассчитать зависимость длины свободного пробега атомов свинца в пристеночной области испарителя от температуры поверхности испарения в предположении, что в пристеночной области испарителя концентрация паров соответствует состоянию насыщения.

  27. В чем проявляются особенности распыления монокристаллов и с чем они связаны?

  28. Уравнение для расчета скорости испарения вещества в условиях вакуума.

  29. Особенности распыления многокомпонентных материалов.

  30. Чему равна максимальная скорость испарения веществ в вакууме? От чего она зависит? Чем сдерживается ее рост?

  31. Изменение топографии поверхности в результате распыления.

  32. Удельная теплота парообразования q. Чему она равна? Как зависит q от Т?

  33. Рассчитать скорость испарения атомов с поверхности свинца, разогретой до температуры 900 К.


Оценка итоговой аттестации происходит по результатам сдачи экзамена. Экзаменационные билеты содержат вопросы по теоретическому материалу курса.


^ 8. Рейтинг качества освоения дисциплины


Максимальный итоговый рейтинг соответствует 100 баллам (60 баллов – текущая оценка в семестре, 40 баллов – аттестация в конце семестра (экзамен)).


^ 9. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины


Основная литература

  1. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии - М.: Высшая школа, 1984, 320 с.

  2. В.И. Беспалов. Основы взаимодействия излучения с веществом /Учебное пособие – Томск: изд. ТПУ, 2003, 269 с.

  3. Рыжов В.В., Беломытцев С.Я., Беспалов В.И. Рентгеновское излучение сильноточных электронных пучков / Учебное пособие – Томск: изд. ТПУ, 2003, 105 с.

  4. Немец О.Ф., Гофман Ю.В. Справочник по ядерной физике. – Киев: Наукова думка, 1975, 416 с.

  5. Кумахов М.А., Комаров Ф.Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах.

  6. Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. – Минск: Издательство БГУ, 1980, 350 с.

  7. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: физическое распыление одноэлементных твердых тел. Вып. 1 / Под ред. Бериша Р. – М.: Мир, 1984, 336 с.

  8. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: физическое распыление одноэлементных твердых тел. Вып. 2 / Под ред. Бериша Р. – М.: Мир, 1986, 488 с.

  9. Трушин Ю.В. Радиационные процессы в многокомпонентных материалах. Теория и компьютерное моделирование. – СПб: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе, 2002, 384 с.

  10. Низкотемпературная плазма / гл. редактор серии М.Ф. Жуков / т.11. Математическое моделирование катодных процессов – Новосибирск: Наука, 1993, 194 с.



Дополнительная литература

  1. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы. - М.: Наука, 1970. - 272 с.

  2. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Пащенко О.В. Тепломассоперенос в твердом теле под действием мощных пучков заряженных частиц. - Новосибирск: Наука, 1999. - 176 с.

  3. Распыление под действием бомбардировки частицами / Под редакцией Р. Бериша, К. Виттмака – М.: Мир, 1998, 551 с.

  4. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел / Под редакцией Е.С. Машковой – М.: Мир, 1989, 349 с.

  5. Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел – М.: Атомиздат, 1980, 256 с.

  6. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. – М.: Мир, 1967, 506 с.

  7. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом / Под ред. А. Грас-Марти и др. – М.: Высшая школа, 1994, 752 с.

  8. Фальконе Д. Теория распыления – УФН, 1992, т. 162, с. 71-117.

  9. В.В. Плетнев. Современное состояние теории физического распыления неупорядоченных материалов /В кн. Итоги науки и техники. Серия: Пучки заряженных частиц и твердое тело/ Под ред. Ю.В. Мартыненко - т. 5. Распыление. – 1991, с. 4-62.



^ 10. Материально-техническое обеспечение дисциплины


Лекционные и практические занятия проходят в аудиториях, оснащенных мультимедийной техникой: в 124-ой аудитории 19-го учебного корпуса (комната для аудиторных занятий кафедры ВЭПТ) и в 206-ой аудитории 3-го учебного корпуса.


Программа составлена на основе Стандарта ООП ТПУ в соответствии с требованиями ФГОС по направлению и профилю подготовки магистров 011200 «Физика».


Программа одобрена на заседании кафедры ВЭПТ

(протокол № ____ от «___» _______ 2011 г.).


Автор: доцент кафедры ВЭПТ к.ф.-м.н. Блейхер Г.А.


Рецензент: профессор кафедры ВЭПТ, д.ф.-м.н. Янин С.Н.


Документ: Рабочая программа. Воздействие плазмы и пучков заряженных частиц на вещество. Разработчик Блейхер Г.А. 11.09.2011 стр.


Похожие:




©fs.nashaucheba.ru НашаУчеба.РУ
При копировании материала укажите ссылку.
свазаться с администрацией